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粘土坩埚,试金坩埚,炼锌坩埚坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,使用时要注意。
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含碳耐火材料石墨坩埚经烘烤后一般表面产生15mm以上的脱碳疏松层,靶材脱碳层在盛钢后很快侵蚀掉。钢厂的石墨 电极损耗要占到钢厂生产成本地十分之一以上,在高温氧化实验室看到,子母坩埚,一个3公斤的石墨坩埚在高温1600℃持续3个小时后 ,重量减轻了30%以上,子母坩埚供应商,也就是3公斤的石墨坩埚很快就变成了2公斤,氧化很快。石墨是比较贵重的材料,腐蚀氧化造成企 业生产成本加大,能源材料浪费。
坩埚用原料要求纯度高、一致性好,粒度分布均匀。由害成分高时会影响坩埚的熔制,子母坩埚哪家好,影响其耐温性,还会出现气泡、色斑、脱皮等现象,严重影响石英坩埚质量。有害元素含量高还会产生一些气泡、白斑等缺陷,造成石英坩埚透明度下降,严重时还影响坩埚成形。坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。
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